簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "演算法".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="浸潤式微影光學系統"


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    結合蟻群演算法與神經網路演算法所優化之光源模態以強化微影成像效能
    • 自動化及控制研究所 /105/ 博士
    • 研究生: 李國華 指導教授: 郭鴻飛
    • 幾十年來半導體工業仰賴微影光學將電路圖案之設計轉印至晶圓基板上,隨著電路設計圖樣日益縮小,目前已逼近至微影製程的光學極限,解析度增強技術(resolution enhancement techniq…
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